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洁净室(区)臭氧消毒的验证
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洁净室(区)臭氧消毒的验证中需确认和校准的臭氧发生器技术指标主要有臭氧产量、臭氧浓度和时间定时器,并通过检查细菌数来确定消毒时间。
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